半导体激光器减反射膜的涂镀

来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiangjinsong
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通过对GaAlAs激光器谐振腔前腔面涂镀SiO工艺,分析涂层特性,透射率由无膜时的69%提高到92%,提高激光输出功率和工作寿命。
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