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半导体激光器减反射膜的涂镀
半导体激光器减反射膜的涂镀
来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiangjinsong
【摘 要】
:
通过对GaAlAs激光器谐振腔前腔面涂镀SiO工艺,分析涂层特性,透射率由无膜时的69%提高到92%,提高激光输出功率和工作寿命。
【作 者】
:
杨晓妍
刘杰
【机 构】
:
长春光机学院光电工程系,中国科学院长春光机所
【出 处】
:
长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
:
1996年4期
【关键词】
:
激光器
减反射膜
谐振腔
半导体激光器
Lasers
Autireflection coatings
Resonant cavities
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通过对GaAlAs激光器谐振腔前腔面涂镀SiO工艺,分析涂层特性,透射率由无膜时的69%提高到92%,提高激光输出功率和工作寿命。
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