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研制了一种基于动态聚焦探测法的新型光针式三维表面形貌测量仪，该仪器可实现表面三维形貌的快速、无损、非接触测量。介绍了该仪器的测量原理、仪器结构、伺服机构的设计并给出了实测结果。仪器垂直测量范围为500μm；垂直方向测量精度可达0．5μm，分辨率为0．01μm。
光针式三维表面形貌测量仪的研制
【摘 要】
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研制了一种基于动态聚焦探测法的新型光针式三维表面形貌测量仪，该仪器可实现表面三维形貌的快速、无损、非接触测量。介绍了该仪器的测量原理、仪器结构、伺服机构的设计并给
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2006年11期
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