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采用磁控溅射后硫化的方法制备Cu_2ZnSnS_4（CZTS）薄膜,分别用Zn和Zn S作为锌源,在镀钼的钠钙玻璃衬底上以Zn（或Zn S）/Sn/Cu的顺序制备出不同的CZTS薄膜预制层。首先对预制层进行低温合金,然后以硫粉作为硫源进行高温硫化,得到CZTS薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）及能谱仪（EDS）分别对所制备薄膜的晶体结构、表面形貌和薄膜组分进行分析表征;并用拉曼光谱表征了CZTS相的纯度。最后用CZTS薄膜制备了太阳电池,发现在预制层中以Zn S作为锌源得到的太阳电池有较