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为了实现大气压环境下稳定的辉光放电，设计了一种新型的针-柱电极结构放电装置。采用针尖直径为56.4μm的不锈钢针作为放电阴极，直径为4 m m的紫铜圆柱作为放电阳极，两者通过精密机械结构保持平行。当针-柱之间间距为2 mm、镇流电阻10 MΩ，放电电阻10 MΩ，测试电阻1 kΩ、放电电压-2740 V、大气压环境、室温、无外部通入气流时，针-柱之间实现了稳定的辉光放电。示波器存储的放电波形和数码相机记录的放电图像验证了从电晕放电到辉光放电，再到火花放电的三种放电模式。该针-柱结构易于用M EM S工艺加