一种实时测量和表征超薄SiO2薄膜的实验方法

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采用P-偏振傅里叶变换红外反射吸收光谱技术,实现了对溅射型顺旋共振微波等离子体技术制备的超薄SiO2薄膜的实时监测和表征。实验表明:该方法是一种无损伤性、快速而准确的实时分析SiO2薄膜质量的有效方法。
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