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一种实时测量和表征超薄SiO2薄膜的实验方法
一种实时测量和表征超薄SiO2薄膜的实验方法
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong544
【摘 要】
:
采用P-偏振傅里叶变换红外反射吸收光谱技术,实现了对溅射型顺旋共振微波等离子体技术制备的超薄SiO2薄膜的实时监测和表征。实验表明:该方法是一种无损伤性、快速而准确的实时分析SiO2薄
【作 者】
:
贾艳
钟殿强
【机 构】
:
东北师范大学物理系
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2000年8期
【关键词】
:
微波等离子体
薄膜
红外反射吸收光谱
二氧化硅
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采用P-偏振傅里叶变换红外反射吸收光谱技术,实现了对溅射型顺旋共振微波等离子体技术制备的超薄SiO2薄膜的实时监测和表征。实验表明:该方法是一种无损伤性、快速而准确的实时分析SiO2薄膜质量的有效方法。
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