埋空隙PSOI结构的耐压分析

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhongshengxiao
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提出了一种埋空隙PSOI(APSOI)RESURF器件结构,此结构利用空隙相对低的介电系数,在器件纵向突破了传统SiO2埋层的耐压关系,提高了击穿电压;硅窗口的存在缓解了有源区的自热效应;不同衬底的场调制作用进一步优化了表面电场分布.在相同击穿电压条件下,此结构较一般PSOI结构只需1/4厚度的埋层,当漂移区厚度和埋层厚度均为2μm时可获得600V以上的击穿电压.
其他文献
K-HEDP(俗称羟基亚乙基二膦酸钾盐,分子式为C2H6O7P2 K2)作为一种工业废液,由于其优良的水溶性,成为提供植物生长发育所需要的钾元素和磷元素的叶面肥的重要来源,此外K-HEDP
幼小衔接问题是长期被教育工作者和家长所关注却一直没有得到很好解决的难题。近几年来,幼儿园和小学教师越来越认识到了衔接工作做得如何,直接影响儿童入学后的适应和今后的健
对某压力试验筒的卡箍快开盖结构进行了有限元分析,并提取了与该结构刚度相关的分析数据,结果显示在进行高参数卡箍结构的设计时必须考虑其刚度问题。在该实例的基础上,改变
大学生就业指导课对学生自身今后职业发展具有重要的作用,选择多维互动的教学模式,让学生真正喜欢和认同就业指导课,以增强就业指导课的针对性和实效性,破解大学生就业指导课的困
连续变焦镜头的设计主要包含光学系统初始结构的选取、凸轮曲线计算与优化、结构设计等。本文以可见光15倍连续变焦镜头为例,利用Matlab进行仿真计算。
《指南》中指出:“游戏是幼儿园的基本教育活动”。游戏是幼儿各类活动赖以进行的最好的载体。是孩子了解社会,模仿他人的一个平台。孩子们生来就是好动的,是以游戏为生命的。游
大学生创新创业实践正在渐渐影响着高等教育, 并且成为其中的一个重要部分.高校作为培养人才的前沿阵地, 不仅可以培养学生的创新创业能力, 而且可以加强大学生创新创业的研
徽网络平台丰富新颖的功能得到青年群体的青昧。徽网络平台“口口(零凝)结合”的学习模式引导学生将信息化零为整,潜移默化地培养学生的学习能力,是新时代高校思政教育的重要抓手
从舰船科研单位培养研究生工作的实际出发,分析了科研单位研究生教育工作的特点,介绍了中国舰船研究院研究生教育突出特色的探索与实践。
PTC公司于2008年11月18日在北京宣布,美国著名汽车发动机零部件厂商雅士佳中国分公司——雅士佳(北京)咨询有限公司通过PTC渠道合作伙伴北京亿特克科技有限公司的支持,增加部署Pr