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将纯稀土金属块镧、铈、钕分别放入离子氮化炉中作为溅射源，对氮化钢En40B钢进行离子氮化，发现纯稀土元素影响了炉内的辉光放电特性。用相关仪器和设备对氮化表层的化学元素分布，组织形貌和显微硬度进行了观察和测定, 结果表明：纯稀土元素直接影响氮的扩散，导致各元素沿氮化层分布、氮化层组织结构和硬度分布的变化，从而影响了氮化效果, 不同稀土元素影响效果有所不同。