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对扫描电子显微镜图像出现畸形和真空控制系统故障的实例进行了分析和检修,并介绍了DP泵温度检测开关的替换方法.
JXA—840扫描电子显微镜故障检修二例
【摘 要】
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对扫描电子显微镜图像出现畸形和真空控制系统故障的实例进行了分析和检修,并介绍了DP泵温度检测开关的替换方法.
【机 构】
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华东师范大学电镜中心
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2001年5期
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