【摘 要】
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综述了国内外ＣＶＤ 金刚石膜抛光技术的最新进展，介绍了不同抛光方法的加工机理以及工艺性能和特点。
The latest progress of CVD diamond film polishing technology both at ho
【机 构】
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综述了国内外ＣＶＤ 金刚石膜抛光技术的最新进展，介绍了不同抛光方法的加工机理以及工艺性能和特点。
The latest progress of CVD diamond film polishing technology both at home and abroad is reviewed. The processing mechanism of different polishing methods as well as the process performance and characteristics are introduced.
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