【摘 要】
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基于MEMS技术的微发电机体积小、可长期使用,成为研究的热点。目前微发电机主要分为振动式和旋转式两大类：振动式微发电机结构简单,但能量密度小;旋转式微发电机可在高转速下
【机 构】
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北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室
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基于MEMS技术的微发电机体积小、可长期使用,成为研究的热点。目前微发电机主要分为振动式和旋转式两大类：振动式微发电机结构简单,但能量密度小;旋转式微发电机可在高转速下工作,产生高的能量密度。描述了旋转式微发电机的工作原理与特点。着重介绍了旋转式微发电机的研究现状,列举了典型的研究成果,总结了其所用的结构、材料和加工工艺。指出了旋转式微发电机的发展趋势,即寻求简化装配、适合大批量生产的材料与工艺。旋转式微发电机的出现,使＂小机器产生大功率＂的设想成为可能。
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