【摘 要】
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基于谐振式光学陀螺高灵敏度、低成本与微型化的发展需求,为了实现高灵敏度的谐振式微光机电陀螺,提出了以集成光学微谐振腔领域里高值、大直径谐振腔的制作为目标,应用方向
【基金项目】
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国家自然科学基金杰出青年科学基金（批准号：51225504）,国家自然科学基金重点项目（批准号：91123036）, 山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助的课题
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基于谐振式光学陀螺高灵敏度、低成本与微型化的发展需求,为了实现高灵敏度的谐振式微光机电陀螺,提出了以集成光学微谐振腔领域里高值、大直径谐振腔的制作为目标,应用方向为谐振式光学陀螺的球形光学微谐振腔核心敏感单元.在实验中以氢火焰作为热源采用熔融法制备球形光学微谐振腔.通过调节氢气的流量控制氢火焰热源面积,制备了不同直径（300—2200μm）的球形谐振腔,分析了球形谐振腔值、乘积、陀螺灵敏度与谐振腔直径的对应关系及其原因,获得了最优参数的面向谐振式光学陀螺的球形谐振腔敏感单元.D=1260μm时,球腔品质因
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