CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong417

【摘要】

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为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重

【作者】

：

李金儒汤跃科陈宝钦

【机构】

：

中国科学院微电子研究所

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

微光刻技术数据格式转换图形切割沿边切割算法 microlithography technology data format conversion grap

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为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性.

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