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仪器柔度标定和位移校准是压入法测试的一项重要工作，通过对各种标定方法特点的综合比较认为Doemer-Nix法是一种理想的折中方法，结果相对可靠并易于操作。利用该法对微压入测试仪进行了标定，获得的柔度值为0．61×10^-6m／N。仪器校准后得到的Si（100）弹性模量和硬度值与文献值符合较好，而未校准直接获得的2个测试值比校准后分别低21．5％和2．4％。