【摘 要】
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集成电路产业是现代信息社会的基石.集成电路的发明使电子产品成本大幅度降低,尺寸奇迹般减小.以计算机为例,1 946年诞生的世界第一台数字计算机重30吨,占地约140平方米.而集
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
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集成电路产业是现代信息社会的基石.集成电路的发明使电子产品成本大幅度降低,尺寸奇迹般减小.以计算机为例,1 946年诞生的世界第一台数字计算机重30吨,占地约140平方米.而集成电路将晶体管、电阻、电容等电子元件连接在小块的硅片上,可使计算机体积更小,功耗更低,速度更快.自1958年世界上第一块平面集成电路问世,在短短五十多年间,半导体及微电子技术突飞猛进的发展,带动了现代信息技术的腾飞.集成电路的发展与其制造工艺——光刻技术的进步密不可分.
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