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R.F.溅射工艺参数对ZnO薄膜晶粒大小及结构的影响研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunjuanhuahard

【作 者】

：

陈运祥 

【出 处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

1988年03期

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