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电子行业洁净室用过滤材料性能研究与评价
电子行业洁净室用过滤材料性能研究与评价
来源 :玻璃纤维 | 被引量 : 0次 | 上传用户:goodgay3_2004
【摘 要】
:
对洁净室及空气过滤器的相关概念进行了简述,使用扫描电子显微镜、PMI孔径测试仪等手段,研究了PTFE复合空气滤纸的结构特点,通过分析结构与性能之间的关系,得到了过滤材料结
【作 者】
:
李帅
郭晓蓓
余佳彬
张振
尹奕玲
徐涛
匡新波
吴涛
【机 构】
:
南京玻璃纤维研究设计院膜材料公司
【出 处】
:
玻璃纤维
【发表日期】
:
2020年2期
【关键词】
:
洁净室
空气过滤器
PTFE
cleaning roomair filterPTFE
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对洁净室及空气过滤器的相关概念进行了简述,使用扫描电子显微镜、PMI孔径测试仪等手段,研究了PTFE复合空气滤纸的结构特点,通过分析结构与性能之间的关系,得到了过滤材料结构和性能的粗略对应关系,并能初步预测各滤料的过滤性能。
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