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概述了调平控制系统在BG－105型分步投影光刻机中的重要性的BG－105型分步投影光刻机调平控制系统的工作原理，重点讨论了该控制系统的软件计算处理方法，实测表明，该软件控制系统运行情况良好，具有很强的实用性。
BG—105型分步投影光刻机调平控制系统分析与软件处理
【摘 要】
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概述了调平控制系统在BG－105型分步投影光刻机中的重要性的BG－105型分步投影光刻机调平控制系统的工作原理，重点讨论了该控制系统的软件计算处理方法，实测表明，该软件控制系统运行
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2002年1期
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