【摘 要】
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提出了应用激光干涉量度 ( L M)系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测 ,具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点 ,完全消除了由于光源的震动、发热等
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提出了应用激光干涉量度 ( L M)系列多坐标激光干涉仪在纳米定位系统中进行同步定位检测 ,具有尺寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点 ,完全消除了由于光源的震动、发热等因素对纳米定位系统的影响 ;它的测量分辨率高、测量范围大及本身带有智能分析环节 ,在IC( Integrated circuit)制造装备及微机械、生物芯片制造装备等方面的应用中 ,满足大空间范围和超高精度定位的要求 ,并且可以通过分布式 CPU控制方式实现多坐标高速、同步实时定位 .
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