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用双离子束溅射沉积氧化铪光学薄膜，并对此工艺下制备的氧化铪薄膜进行了光学性质、残余应力、结构特性以及激光损伤特性的研究。实验结果表明，用双离子束溅射沉积的氧化铪薄膜不仅结构均匀，膜层致密，无定形结构，而且具有极低的散射和吸收，均匀的非晶结构，杂质缺陷少，激光损伤阚值高。
双离子束溅射沉积HfO2光学薄膜的研究
【摘 要】
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用双离子束溅射沉积氧化铪光学薄膜，并对此工艺下制备的氧化铪薄膜进行了光学性质、残余应力、结构特性以及激光损伤特性的研究。实验结果表明，用双离子束溅射沉积的氧化铪薄膜
【机 构】
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玉林师范学院物理与信息科学系,河南师范大学物理与信息工程学院,深圳市深新隆实业有限公司,华中科技大学光电子科学与工程学院
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2007年9期
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