论文部分内容阅读
系统地研究了射频磁控反应溅射中工艺参数ＧｅｘＣ１－ｘ薄膜沉积率的影响，结果表明，当气体流量比过某值后，沉积速率较大的下降。沉积速率随射频率功率的增大而增大，某工作气压下有沉积速率的最大值，薄膜厚度时间增长规律在出现靶中毒及未出的靶中毒的情况下略有差别。
反应溅射GexC1—x薄膜的沉积速率
【摘 要】
：
系统地研究了射频磁控反应溅射中工艺参数ＧｅｘＣ１－ｘ薄膜沉积率的影响，结果表明，当气体流量比过某值后，沉积速率较大的下降。沉积速率随射频率功率的增大而增大，某工作气压下有沉积速率的最
【机 构】
：
西北工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
：
材料工程
【发表日期】
：
1998年2期
【基金项目】
：
航空科学基金资助项目
其他文献
为了弥补已有方法在处理3D方向关系方面的不足,提出了3DR46方向关系模型,可有效表示和区分246种复杂的3D方向关系;为了处理3D方向关系的动态性,基于所提模型研究了3DR46方向
文献资源建设是高校图书馆的一项重点工作.该文就高校图书馆的馆藏政策与文献购置经费控制、采访书目控制、文献出版发行商控制、专用文献采访渠道控制、文献验收登录控制等
研究了Ｔｉ－１５－３钛合金薄板退火状态和冷轧状态的超塑性，ｍ值均在７００℃出现峰值，达０．４延伸率２６０％，冷轧箔材７００℃可吹塑成形复杂构件，并可获得优良的力学性能，该构件在卫星上得到应用。
随着城市地下空间的开发,新建隧道近距离穿越既有运营地铁隧道的现象越来越多,其中,超大直径盾构穿越施工存在着重大风险,易对运营隧道安全构成明显隐患。文章以北横通道超大
该文以Markowitz模型和具有交易成本的证券投资模型作对比,讨论了交易成本及资本结构因子对有效边界的影响,同时考虑了无风险证券存在的情况.
卫星激光测距中激光信号须两次穿行地球大气层,受脉冲展宽、光束偏离及能量衰减等多种效应的综合影响,激光信号返回地面测站时已非常微弱,以致难以探测,测量范围因此受限,目
采用ＨＣＤ－１型空心阴极光源作为发射光谱的激发光源，以一套Ｋ３镍合金基标准做工作曲线来分析铁镍基高温合金中的微量杂质元素砷，碲，锑，铅，锡，铋，铊和银，该方法简便快速，并具有较低的检出限，较好的
研究了两种不同组织的ＴｉＡｌ合金在较低温度下的超塑性行为。结果表明，原始显微组织对ＴｉＡｌ基合金的超塑性有很大影响，其中非平衡的热变形态组织在１０７５℃，８×１０＾－５ｓ＾－１条件下获得了５１７％的延伸率，远高于平衡