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感应耦合等离子体刻蚀InP/InGaAsP二维光子晶体结构的研究

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yyaizy

【作 者】

：

马小涛 郑婉华 任刚 樊中朝 陈良惠

【出 处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2007年02期

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