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分析比较了低能量X－RAY和β－RAY两种测厚仪在薄膜生产测量中的差别。指出低能量X－RAY测厚仪将逐渐替代β－RAY测量仪，成为今后薄膜厚度测量的主流机型。
低能量X-RAY测厚仪与β-RAY测厚仪在薄膜生产中的应用比较
【摘 要】
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分析比较了低能量X－RAY和β－RAY两种测厚仪在薄膜生产测量中的差别。指出低能量X－RAY测厚仪将逐渐替代β－RAY测量仪，成为今后薄膜厚度测量的主流机型。
【机 构】
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安徽铜峰电子股份有限公司
【出 处】
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电力电容器
【发表日期】
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2001年3期
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