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采用微波等离子体化学气相沉积法，以N2／H2／CH4为气源，通过改变反应气氛中的Nz浓度（10％～30％）制备了金刚石薄膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、x射线衍射仪等设备对金刚石薄膜的表面形貌、晶粒尺寸以及薄膜质量进行了分析，研究了不同浓度氮气对于沉积金刚石薄膜的影响，结果表明：当氮气浓度低于30％时，沉积的金刚石薄膜晶粒尺寸变化不明显，表面平整度较好，氮气浓度达到30％时，金刚石晶粒增大，缺陷增加；随着氮气浓度增加，薄膜中金刚石相含量下降，同时，金刚石趋向于（111）面优先生长。