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介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构,以及对标准样板及圆柱零件的测试结果。该测量系统已对本科生和研究生开出实验并投入实用,其垂直分辨率为2 nm,横向分辨率为0．3μm,垂直扫描范围为80μm。
基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜的改造
【摘 要】
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介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构,以及对标准样板及圆柱零件的测试结果。该测量系统已对本科生和研究生开出实验并
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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实验技术与管理
【发表日期】
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2007年04期
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