论文部分内容阅读
利用离子束溅射沉积的方式在Al2O3陶瓷基片表面制备了In2L3薄膜，并分别研究了热处理温度对薄膜相结构、电阻-温度特性及气敏特性的影响。结果表明：薄膜相结构受热处理温度影响显著，热处理温度高于600℃时，薄膜相结构由无定形状态变为立方相状态；随着热处理温度的升高，薄膜电阻率显著增大；薄膜对CO气体具有良好的气敏特性，热处理温度为600℃时，薄膜对CO气体灵敏度达到最大值。