论文部分内容阅读
简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于微型传感器及MEMS中绝缘薄膜的加工。
微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术
【摘 要】
：
简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于微型传感器及MEMS中绝缘薄膜的加工。
【机 构】
：
哈尔滨工业大学自动化测试及控制系,黑龙江广播电视大学
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
：
2001年3期
其他文献
根据燃气报警器报警点年漂移试验，探讨了报警点漂移原因及改进措施，建立了报警点漂移的正态分布模型，并经用Ｘ＾２检验法进行了检验。依据行业标准ＣＪ－３０５７，结合燃气报警器的加严试验结果，提出了
以聚乙烯亚胺 (PEI)为敏感涂层,制作了石英谐振式气敏元件.研究结果表明,该元件对CO2具有较高的灵敏度和较好的选择性及快速的响应恢复特性.
讨论了工控系统中的干扰问题，建立了抗工频及倍频干扰的数学模型，提出了零点采样技术，并利用零点采样技术从硬件和软件两方面对一温度采集系统进行了抗干扰设计。
应用化学计量学方法鉴别色谱指纹图谱的峰纯度.对背景进行扣除后,用对照组分光谱构建正交投影矩阵对目标色谱峰的光谱进行投影,以目标色谱峰投影后的残余光谱与投影前的原始
根据光电器件在一定范围内对莫尔条纹透光量的变化和各个单栅线位置误差互相补偿的原理，设计了基于切向莫尔条纹和钕—铁硼磁针的高准确度地磁传感器。