【摘 要】
：
为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
论文部分内容阅读
为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型。然后,分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系。最后,分析了支撑应力造成的透射波前畸变的性质,并选择合适的物镜支撑结构。研究结果表明:光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影响:3点支撑的波前畸变PV值为3.69 nm;随着支撑点数量的增加,支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少;采用大于9点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求。
其他文献
目的:采用弥散张量成像(DTI)技术研究观察内囊内纤维束走形及毗邻关系。方法:在一千多病例中,选择健康志愿者一名,采用PHILIPS 1.5磁共振扫描,颅内未发现异常信号,后行DTI扫
近年来,预应力混凝土连续刚构桥在国内外取得了广泛的应用,跨径越来越大,高速公路桥梁双幅宽度采用一个单箱单室的宽箱梁结构已经出现,而对这类宽箱梁结构的施工监控计算常采
<正>在我国传统家具中,楠木家具占有重要的位置。楠木或作"枬木"、"柟木",据明末清初学者谷应泰《博物要览》记载:楠木有三种,一曰香楠,二曰金丝楠,三曰水楠。南方多香楠,木
目的:分析29例Duchenne型肌营养不良(Duchenne muscular dystrophy,DMD)的临床表现和基因分型,为早期诊断提供可靠方法。方法:纳入2011年1月至2016年12月于我院基因明确诊断D
本文对2005年的"中国社会变迁研究第一期调查"数据进行了分析,发现近30年来中国在城市的教育分布上的平等程度呈现出倒U形演变趋势,教育年数分布的散布程度先是逐渐扩大,而后
《刑法修正案(九)》对死刑规定修改呈现出以下几个特点:在废除死刑的罪名中,暴力犯罪与非暴力犯罪并存,以非暴力犯罪为主;废除的死刑罪名多数是备而不用的,废除死刑的宣示意
目的探讨新生儿呼吸合胞病毒下呼吸道感染的临床特点。方法选取2008年5月-2011年4月,在医院进行治疗的呼吸合胞病毒下呼吸道感染260例新生儿为研究对象,对其采用氧疗、雾化吸
作为人类城市文化发展的最高代表,都市文化为我们站在更高的历史阶段研究城市文化和文学等提供了现实对象。与都市文化相关的研究主要有两大话语谱系:一是以经济学、社会学为
观赏植物是园林设计中最重要的材料。观赏植物是园林环境美的主题,植物在造园中能构成优美的环境,渲染宜人的气氛,并且有衬托主景的作用。园林绿化观赏效果和艺术水平的高低,
《长恨歌》之所以风靡文坛,得益于作者王安忆对艺术语言恰当娴熟的运用。艺术语言使文章新奇、别致、独创,从而避免了叙事的平淡、呆板,揭示出了人物性格和社会的本质,使形式