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在ＴＧ－４型离子镀膜机上，择ＴｉＮ装饰膜镀制工艺进行了研究。结果表明，控制偏压、真空度、温度、氮气、氩气流量，可得到由白到淡黄、金黄、暗黄乃至黑色的ＴｉＮ膜层，而膜的沉积速度要在ｎｍ／Ｓ级范围内变化。
离子镀TiN色泽与工艺关系的研究
【摘 要】
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在ＴＧ－４型离子镀膜机上，择ＴｉＮ装饰膜镀制工艺进行了研究。结果表明，控制偏压、真空度、温度、氮气、氩气流量，可得到由白到淡黄、金黄、暗黄乃至黑色的ＴｉＮ膜层，而膜的沉积速度要在ｎｍ／Ｓ级范围内变
【机 构】
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北京理工大学
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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1995年3期
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