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研究了以聚苯乙烯（PS）微球为模板，采用表面化学沉积技术制备SiO2@PS微球的工艺。利用导电位及FT-IR吸收光谱分析了硅烷偶联剂（MPS）及引发剂（KPS）对PS微球表面电荷及表面官能团的影响，在PS微球表面官能化过程中加入KPS，促进PS微球与MPS聚合，增加了微球表面Si—OH的浓度，实现TEOS在PS微球表面的均匀包裹，制得了单分散的核壳结构的SiO2@PS微球。通过调整TEOS的加入量，可得到壁厚在20-55nm的SiO2空心球。