本文在界定工业用地利用效率内涵基础上,利用单要素DEA方法、GIS空间分析和空间计量经济方法,系统研究了2001-2011年我国各省份及不同区域工业用地利用效率的时空差异与变化特征,检验了经济与产业发展水平、企业所有制结构、工业资本构成与企业规模、工业研发投入等因素对工业用地利用效率的影响。研究结果表明:1东部地区各省份比中西部和东北地区省份工业用地利用效率更高,广东和天津处于前两位;2在研究时段内高效率省份逐渐向东南沿海集中,中西部及东北地区各省份效率水平逐渐趋同;3东部和西部地区省份间效率差异程度明显高于中部和东北地区,西部地区省份间效率差异逐渐缩小,并且东部和西部地区工业经济发展的不均衡大于工业用地配置的不均衡;4我国各省份间工业用地利用效率存在明显的空间相关性,地区经济发展水平和产业发展水平的提高及外商投资比重的增大能对工业用地利用效率产生正向作用,国有企业比重的提高会对工业用地利用效率产生负向作用。