【摘 要】
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日立制造厂研制成一种能对金属材料进行渗碳表面硬化及形成碳化钛覆膜等多种用途处理,同时,处理速度为以往热处理方式的2～3倍以上的新表面处理技术(即等离子气体高速表面处理
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日立制造厂研制成一种能对金属材料进行渗碳表面硬化及形成碳化钛覆膜等多种用途处理,同时,处理速度为以往热处理方式的2～3倍以上的新表面处理技术(即等离子气体高速表面处理法),并使之实用化。该技术即改进的等离子CVD法(化学气相真空镀膜法),由于这种新的试验,不使用外部热源,只是用电离密度(反应气体的离子化率)高的辉光放电加热被处理工件,首次作到可同时进行高速处理与局部处理。
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