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电化学C-V（ECV）法是当前测量化合物半导体载流子浓度分布的非常重要的方法。从ECV法的原理、设备、电解液的选择以及测量精度的保证四个方面对ECV法进行了分析和总结，对于不同材料电解液的选择提供了参考。
电化学C-V法测量化合物半导体载流子浓度的研究进展
【摘 要】
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电化学C-V（ECV）法是当前测量化合物半导体载流子浓度分布的非常重要的方法。从ECV法的原理、设备、电解液的选择以及测量精度的保证四个方面对ECV法进行了分析和总结，对于不同材
【机 构】
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天津工业大学信息与通信工程学院,天津大学电子信息学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2007年2期
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