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期刊论文
论等离子体在表面技术中的应用
论等离子体在表面技术中的应用
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wq123sd
【摘 要】
:
介绍了表面技术领域中应用等离子技术的诸种现代工艺及其工作原理;讨论了等离子体在这些工艺过程中的行为作用,由其引发形成的工艺与产品的特点,以及这些工艺的应用发展前景。
【作 者】
:
邸柏林
【机 构】
:
东北大学表面技术研究所
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
表面技术
等离子体
工艺
表面处理
plasma
surface finishing
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介绍了表面技术领域中应用等离子技术的诸种现代工艺及其工作原理;讨论了等离子体在这些工艺过程中的行为作用,由其引发形成的工艺与产品的特点,以及这些工艺的应用发展前景。
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