论等离子体在表面技术中的应用

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介绍了表面技术领域中应用等离子技术的诸种现代工艺及其工作原理;讨论了等离子体在这些工艺过程中的行为作用,由其引发形成的工艺与产品的特点,以及这些工艺的应用发展前景。
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