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概述了最近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的N anopo li-100智能型纳米级抛光机,结合该领域的最新研究成果,提出了其向高精度、高效率发展的方向。
超精密研磨技术的现状及发展趋势
【摘 要】
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概述了最近超精密研磨技术的研究动态,介绍了研磨技术的原理、应用和优势,同时介绍了课题组研制的基于修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的N anopo li-100智能型
【机 构】
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浙江工业大学超精密加工研究中心,浙江机电职业技术学院
【出 处】
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轻工机械
【发表日期】
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2007年4期
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