纳米晶Fe—Ti—N软磁薄膜的研究

来源 :甘肃教育学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaohan191420

【摘要】

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用射频反应溅射法制备了含Ti量高低不同的两种Fe-Ti-N合金薄膜.研究发现,沉积态低Ti含量的薄膜是α-Fe的多晶体,晶粒尺寸约20nm,沉积态高Ti含量的薄膜则是非晶结构,经适当热

【作者】

：

孟卫民

【机构】

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兰州大学物理科学与技术学院

【出处】

：

甘肃教育学院学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

软磁薄膜纳米晶射频反应溅射法交换耦合铁钛氮合金薄膜非晶结构软磁特性 soft magnetic film nanocrystalline react

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用射频反应溅射法制备了含Ti量高低不同的两种Fe-Ti-N合金薄膜.研究发现,沉积态低Ti含量的薄膜是α-Fe的多晶体,晶粒尺寸约20nm,沉积态高Ti含量的薄膜则是非晶结构,经适当热处理后,纳米晶α-Fe从中晶化生成,晶粒尺寸约10nm.和低Ti含量Fe-Ti-N薄膜相比,高Ti含量Fe-Ti-N薄膜显现出良好的软磁特性.

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