以商业氮化镓（GaN）粉末为原料,经简单超声辅助的方法成功制备出氧化镓（Ga₂O₃）纳米棒。通过X射线衍射（XRD）、场发射扫描电镜（FE-SEM）和透射电子显微镜（TEM）等对其结构、形貌及成分进行表征分析。结果表明材料为纳米棒状多孔结构,直径和长度范围分別在100 nm和2μm左右,并且Na⁺和K⁺被成功地掺杂。湿敏材料旋涂在预先涂覆有Ag-Pd叉指电极的Al₂O₃陶瓷基片上制作成湿敏测试元件。对其湿敏性能进行测试,結果表明:Ga₂O₃纳米棒传感器的阻抗随着湿度的变化曲线表现出良好的线性响应和稳定性,在100 Hz频率下,当环境中的相对湿度（RH）从11%到95%变化时,该湿度传感器阻抗变化超过四个数量级,响应和恢复时间分別为1 s和6 s,其最大湿滞为3%RH。优异的湿敏特性可能源于一维Ga₂O₃纳米结构和离子掺杂的协同效应。