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厚膜光刻工艺在PDP中的应用
厚膜光刻工艺在PDP中的应用
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hahaohan
【摘 要】
:
简要介绍了表面放电型ACPDP制作工艺中电极、障壁和荧光粉的厚膜光刻技术,并对这些工艺中所存在的一些问题进行分析和讨论.
【作 者】
:
陈秀敏
【机 构】
:
南京电子器件研究所国家平板显示工程技术研究中心
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
厚膜
光刻工艺
等离子体显示器
电极
PDP
thickfilm
photolithography
photosensitivepaste
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简要介绍了表面放电型ACPDP制作工艺中电极、障壁和荧光粉的厚膜光刻技术,并对这些工艺中所存在的一些问题进行分析和讨论.
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