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研究了SiO2半波覆盖层对HfO2/SiO2高反射膜1064nm激光损伤的影响，分析薄膜的激光损伤特性及图貌得出, 对于单脉冲（1-ON-1）激光损伤，SiO2半波覆盖层能提高HfO2/SiO2高反射膜的激光损伤阈值；可显著降低激光损伤程度，减小灾难性损伤发生的概率；可大幅度提高HfO2/SiO2高反射膜的抗激光损伤能力。