【摘 要】
：
随着半导体器件特征尺寸的不断减小,传统SiO2栅介质减薄到1 nm以下时会导致栅极漏电流增大、器件可靠性下降等诸多问题,已无法满足CMOS技术长远发展要求。因此,寻求替代SiO2
【机 构】
：
中北大学电子与计算机科学技术学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室
论文部分内容阅读
随着半导体器件特征尺寸的不断减小,传统SiO2栅介质减薄到1 nm以下时会导致栅极漏电流增大、器件可靠性下降等诸多问题,已无法满足CMOS技术长远发展要求。因此,寻求替代SiO2的新型栅介质材料,减少器件的隧穿电流,提升可靠性成为CMOS技术的发展方向。如何制备化学性质稳定、性能优异的栅介质薄膜成为高k栅介质材料亟待解决的问题。论述了理想高k栅介质材料的基本要求,重点介绍了高k栅介质材料制备技术的研究进展,并分析指出了高k栅介质材料制备技术的未来发展趋势。
其他文献
通过外业调查和室内测定,获得西山国家森林公园主要可燃物的相关参数,输入BehavePlus模型,得到潜在火行为参数,以火强度大小为主要指标划分主要可燃物类型,结果表明:在坡度分
进入高中，学生接触到的数学概念越来越抽象，很多学生对数学渐渐失去了兴趣，尤其是上数学的概念课，学生积极性普遍不高，而教师也是完成任务式的照本宣科，课堂效率比较低下．如何改变这
中国风电项目开发的主要障碍在于投资不足和融资风险相对较高。分析中国风电项目融资中的问题,对促进我国风电行业发展具有前瞻意义。文中通过构造并网型风电项目案例,讨论了
<正>"一带一路"倡议无疑将成为新版全球化的一种尝试,以试图解决全球经济结构不平衡问题,并为全球经济增长提供新动力2017年是全球金融危机后的第九个年头,但世界经济复苏之
<正> §1.十多年来,现代汉语研究出现了好势头,不仅发表、出版了大量论著,而且研究的广度和深度都较以前有所进展。语法研究的进展最为显著。从十多年来发表的比较有影响的论
<正> 自第二次世界大战结束以来,日本的摩托车生产发展很快。由60年代初期起,其产量即占世界第一位,以后一直保持到现在。1976年产量为4235千台,约占世界总产量的60%。其中70
前期的气藏评价表明,四川盆地元坝区块自流井组页岩气藏可能具有商业开发潜力。但其埋藏深度多在4 000 m以上,远远超过了美国页岩普通层位深度范围(76~2 440 m),因此,该区块
<正>读大学的时候,我发现了对审美的人类学研究这一话题。此后证明,这个话题不仅令人着迷、值得探究,还牵涉层面甚广,对我来说是个十足的挑战。我没有想到,我在上面投入的精
针对风电容量与风-水-火电互补系统稳定性的关系问题,研究了风电机组的数学模型,搭建了风-水-火电互补系统的仿真模型。将遗传算法(GA)应用于风电穿越功率的研究,建立了基于