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介绍了容栅传感器的工作原理，进行了容栅传感器的精度分析，提出了一种容栅传感器刻线误差的新而具体的计算方法，按该方法计算出的结果与实测得到的结果极为吻合，据此，对容栅传感器的主要元件（动，定栅板）的制造精度要求不必过高。因而，这个计算方法具有重要的实用价值。
容栅传感器的误差平均效应
【摘 要】
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介绍了容栅传感器的工作原理，进行了容栅传感器的精度分析，提出了一种容栅传感器刻线误差的新而具体的计算方法，按该方法计算出的结果与实测得到的结果极为吻合，据此，对容栅传感器
【机 构】
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成都大学,成都精密测量工程公司
【出 处】
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四川标准化与计量
【发表日期】
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1997年1期
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