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采用溶胶-凝胶法（Sol-Gel）在Pt／Ti／SiO2／Si（100）衬底上制备了0．94（Na0．5Bi0．5）TiO3—0．06BaTiO3（BNT-BT6）薄膜，研究了不同退火时间对其微结构和压电性能的影响。X射线衍射（XRD）结果表明，制备的BNT-BT6薄膜为钙钛矿型铁电薄膜，随着退火时间的延长，晶粒尺寸略有增加。原子力显微镜（AFM）结果表明，制备的薄膜表面比较平整、无裂缝。随着退火时间的延长，薄膜的粗糙度有所增加。在退火时长为60min时薄膜表面具有最佳的均一性，在退火时间为90min时薄