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<正>上海微电子装备有限公司是承担国家"863"重大技术专项国家集成电路光刻设备项目的单位之一。其目标是研制100nmArF准分子激光步进扫描投影光刻机样机,并为形成产业化生产摸索出一条
电子工业洁净厂房的建筑设计
【摘 要】
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<正>上海微电子装备有限公司是承担国家"863"重大技术专项国家集成电路光刻设备项目的单位之一。其目标是研制100nmArF准分子激光步进扫描投影光刻机样机,并为形成产业化生产
【机 构】
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上海市机电设计研究院有限公司;
【出 处】
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上海建设科技
【发表日期】
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2009年05期
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