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在微位移技术中，柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点，以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求，设计了宏微两级精密进给机构；建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度分析；详细给出了柔性铰链的参数设计、有限元分析和疲劳寿命分析。
精密微位移工作台的设计与性能分析
【摘 要】
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在微位移技术中，柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点，以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求，设计了宏微两级精
【机 构】
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东华大学机械工程学院
【出 处】
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机械设计与研究
【发表日期】
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2008年4期
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