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提出了使用电感耦合等离子体质谱法检测地下水中Fe的过程中，标准系列溶液与样品溶液由于基体不同，随雾化气流量变化时所受到的影响程度不一致，对样品中Fe的分析结果的准确性和可靠性产生不利影响。同时提出在线内标溶液含有一定浓度的Fe，并把相应的检测值带入分析结果，对低含量样品中Fe的分析结果的准确性和可靠性产生不利影响。通过实验研究，说明了使用监控样技术对这两个问题进行修正能够获得良好效果，并且相应说明了监控样的制备方法、保存条件和使用期限及对在线内标溶液的处理方法。在这个基础上，建立了新的电感耦合等离子体质谱