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通过分析了沉积温度、乙炔－氧气流量配比对金刚石厚膜质量的影响及高质量金刚石厚的生长过程。
乙炔—氧气火焰沉积高质量,致密金刚石厚膜
【摘 要】
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通过分析了沉积温度、乙炔－氧气流量配比对金刚石厚膜质量的影响及高质量金刚石厚的生长过程。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2000年4期
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