【摘 要】
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基于多层膜技术的劳厄(Laue)透镜能实现硬X射线纳米级聚焦，在X射线微纳分析领域具有重要的应用前景。基于衍射动力学理论，分析了X射线在多层膜劳厄透镜中的传播，计算了不同结构的多层膜劳厄透镜对8 keV X射线的聚焦性能。结果表明，最外层厚度为5 nm的倾斜多层膜劳厄透镜可获得5.7 nm的聚焦光斑和26％的平均衍射效率。
【机 构】
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同济大学物理系精密光学工程技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室,上海200092
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基于多层膜技术的劳厄(Laue)透镜能实现硬X射线纳米级聚焦，在X射线微纳分析领域具有重要的应用前景。基于衍射动力学理论，分析了X射线在多层膜劳厄透镜中的传播，计算了不同结构的多层膜劳厄透镜对8 keV X射线的聚焦性能。结果表明，最外层厚度为5 nm的倾斜多层膜劳厄透镜可获得5.7 nm的聚焦光斑和26％的平均衍射效率。
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