【摘 要】
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微电子技术的发展,使得半导体和薄膜工艺可以用于制造能在很大程度上满足现代湿度和温度测量要求的微型湿度计和温度湿度计。微型湿度计的主要优点是:尺寸小、灵敏度高、快
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微电子技术的发展,使得半导体和薄膜工艺可以用于制造能在很大程度上满足现代湿度和温度测量要求的微型湿度计和温度湿度计。微型湿度计的主要优点是:尺寸小、灵敏度高、快速性好、结构简单、制造工艺性好、价格低廉。
The advances in microelectronics have enabled semiconductor and film processes to be used in the manufacture of micro-hygrometers and temperature hygrometers that meet the requirements of modern moisture and temperature measurement to a large extent. The main advantages of the micro-hygrometer are: small size, high sensitivity, fast, simple structure, manufacturing process is good, the price is low.
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