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准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用,要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性.介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术.用波面分析仪对XeCl和ArF激光特性进行全面的测量和评估,给出了主要参数的测量结果,重点分析了光束均匀性.
准分子激光的光束波面测量技术
【摘 要】
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准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用,要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性.介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术.用波面分析仪对XeCl和ArF激光特
【机 构】
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中国科学院,中国科学院
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2004年5期
【基金项目】
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上海市科技发展基金
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