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介绍了一种基于IBM-PC机的多参数、高精度控制系统，运用VB、VC语言编程，包括多路A／D转换、D／A转换和I／O控制，应用于等离子化学气相沉积（PCVD）及其他类似系统。
等离子化学气相沉积（PCVD）计算机控制系统
【摘 要】
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介绍了一种基于IBM-PC机的多参数、高精度控制系统，运用VB、VC语言编程，包括多路A／D转换、D／A转换和I／O控制，应用于等离子化学气相沉积（PCVD）及其他类似系统。
【机 构】
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北京航空航天大学材料科学与工程系
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2001年6期
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