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自制三氯氢硅合成炉加热装置
自制三氯氢硅合成炉加热装置
来源 :氯碱工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:toofar
【摘 要】
:
介绍了自行设计、制造的三氯氢硅合成炉加热装置的结构及使用效果。
【作 者】
:
李明生
【机 构】
:
江西嘉柏新材料有限公司
【出 处】
:
氯碱工业
【发表日期】
:
2011年10期
【关键词】
:
三氯氢硅
合成炉
电阻丝加热
trichlorosilane
synthesis furnace
resistance wire heating
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介绍了自行设计、制造的三氯氢硅合成炉加热装置的结构及使用效果。
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